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本实用新型属于人工合成石墨导热膜生产领域，具体为一种石墨化炉保护气体回收循环装置，其包括石墨化炉、除尘过滤器、无油压缩机、脱氧塔、冷却器、吸附塔组和储气罐，所述石墨化炉的顶部连接氩气管道，石墨化炉的底部连接除尘过滤器，除尘过滤器与无油压缩机...该专利属于北京中石伟业科技无锡有限公司;北京中石伟业科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中石伟业科技无锡有限公司;北京中石伟业科技股份有限公司授权不得商用。