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本实用新型提供的一种工业化化学气相沉积装置，包括多个依次相连接的腔体，所述的多个依次相连接的腔体从前往后依次为前置换室、预热室、反应室、冷却室和后置换室，所述前置换室的前壁、后置换室的后壁及各腔体之间相连接处均设置有闸门，各个腔体的侧壁上均...该专利属于郑州大工高新科技有限公司;大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院所有，仅供学习研究参考，未经过郑州大工高新科技有限公司;大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院授权不得商用。