温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型为一种用于磁控溅射镀膜设备的降温腔室，用于对位于其内部的工件进行降温，所述降温腔室的内部设置风机、换热器以及导流部件；所述导流部件用于在所述降温腔室内部形成气体流动的循环路径；所述风机设置在所述循环路径上，用于使所述降温腔室内部的...
该专利属于北京七星华创集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创集成电路装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。