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具有多个金属层的阵列垂直腔表面发射激光器制造技术
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下载具有多个金属层的阵列垂直腔表面发射激光器的技术资料
文档序号:20946809
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一种光学装置可以包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的阵列,其具有设计波长,每一个VCSEL具有发射区域。光学装置可以包括基本上覆盖阵列的第一金属层、基本上覆盖第一金属层的第二金属层、和在第一金属层和第二金属层之间的电绝缘层,该电绝缘层包...
该专利属于朗美通经营有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗美通经营有限责任公司授权不得商用。
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