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一种功能结构一体化压电微驱动器制造技术
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文档序号:20946522
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本发明涉及一种功能结构一体化压电微驱动器,包括:树脂基质、纳米颗粒、压电材料颗粒和导体颗粒,特点在于整个实体结构划分为第一电极梳区、第二电极梳区、非导电区和局部压电改性区,其中:所述树脂基质中均匀分布有导电性良好的纳米颗粒形成介电特性与所述...
该专利属于重庆触阔科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆触阔科技有限公司授权不得商用。
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