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一种集成VDMOS的JCD集成器件及其制备方法技术
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文档序号:20946368
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一种集成VDMOS的JCD集成器件及其制备方法,属于功率半导体集成技术领域。本发明首次实现了在同一芯片上制作JFET﹑CMOS﹑VDMOS,同时还能将poly电容、poly电阻以及poly二极管等无源元件与之集成构成电路。本发明不仅结合VD...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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