下载散热集成的电路芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:20946344

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本发明提供散热集成的电路芯片,包括SOI片,SOI片自上而下包括顶层硅、绝缘层及底层硅,SOI片纵向设置多个垂直通孔,垂直通孔贯穿绝缘层及底层硅,各垂直通孔内均设置导电导热柱,导电导热柱底端裸露于底层硅下表面,垂直通孔内侧壁设置电学隔离层,...
该专利属于南通大学;成都芯锐科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通大学;成都芯锐科技有限公司授权不得商用。

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