下载一种平面度快速测量方法的技术资料

文档序号:20942478

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本发明公开了一种平面度快速测量方法,包括如下步骤:步骤一,将被测样品放置在一个水平台面上,其被测面朝下;步骤二,水平台面内部安装有多个激光位移传感器,并在台面上设置有测量孔;步骤三,开启激光位移传感器,同时可以移动被测样品,利用激光位移传感...
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