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为解决传统定位测量装置相机观测范围较小和成像质量不高的问题,本发明提供了一种实现激光扫描加工监测和加工定位的装置及方法、激光加工设备。实现激光扫描加工监测和加工定位的装置包括反射镜、CCD相机和环形照明光源;反射镜设置在激光加工设备中场镜的...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所;西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所;西安交通大学授权不得商用。