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本申请提供了一种微纳结构基板的制备方法、微纳流控芯片及器件，第一微纳结构和第二微纳结构是分步形成的，因此可以形成不同的尺寸；并且，在第一区域形成第一微纳结构的过程中，通过第二膜层保护第一膜层的第二区域，在第二区域形成第二微纳结构的过程中，通...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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