下载有源矩阵基板及其制造方法的技术资料

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有源矩阵基板(100)具有:基板(12);第1薄膜晶体管(10A),其支撑于基板(12),具有包含结晶质硅的第1半导体层(13A);第2薄膜晶体管(10B),其支撑于基板(12),具有包含氧化物半导体的第2半导体层(17);以及第3半导体层...
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