下载两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台的技术资料

文档序号:20926646

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本发明公开了两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台,包括用作承载物体的动台面,以及间隙设于动台面下方的底座,底座设有呈正三角分布且垂直动台面作独立伸缩运动的第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元。第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元...
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