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本发明公开了一种平板式三维大行程纳米操作平台，包括基体，在基体内设有XY平面运动末端和两套压电陶瓷驱动器Ⅰ加传动机构，其中一套沿X向设置，另一套沿Y向设置，XY平面运动末端采用空心柱状结构，XY平面运动末端的四周分别与两个沿X向设置的柔性机...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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