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本发明公开一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置，其包括工作台和定子，其中定子设计有一个工作区域并且定子包括磁体块系统，工作台沿第三方向(Z)可移动地与定子邻接配置，工作台包括电机线圈系统，电机线圈系统与磁体块系统作用，使工作台在工作区...
该专利属于广东极迅精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东极迅精密仪器有限公司授权不得商用。

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