下载顶栅型薄膜晶体管基板及其制作方法的技术资料

文档序号:20922961

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一种顶栅型薄膜晶体管基板,包含基板、遮光层、设于所述遮光层上的金属氧化物层、缓冲层、设于所述缓冲层上的半导体膜层及设于所述缓冲层上的介电层。介电层通过图案化设有连通于半导体膜层的二过孔。接触孔设于金属氧化物层上,并穿透介电层及缓冲层。接触孔...
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