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本揭示公开了一种电介质膜层结构及其制作方法，所述电介质膜层结构至少包括：第一电容电极、电介质层以及第二电容电极，其中所述电介质层由SiNx和SiOx两种物质组成，且沿第一方向和第二方向，SiNx的比例均呈递增状态，SiOx的比例均呈递减状态...
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