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本发明提供一种阵列基板及其制作方法。所述阵列基板包括衬底基板、设于所述衬底基板上的第一金属层、设于所述第一金属层及衬底基板上的辅助绝缘层、设于所述辅助绝缘层及第一金属层上的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的有源层以及设于所述有源层及栅极绝缘...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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