下载用于监控OLED面板蚀刻深度的测试键及OLED大板的技术资料

文档序号:20922894

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本发明公开了一种用于监控OLED面板蚀刻深度的测试键及一种OLED大板,所述测试键包括:一扫描基线区,所述扫描基线区的一膜层结构依序包括:一透光基材、一阻隔缓冲层、一主动层、第一栅极绝缘层、一第一栅极金属层、一第二栅极绝缘层、一第二栅极金属...
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