温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种空置硅片花篮的翻转装置，包括翻转气缸、托盘以及支架，所述支架包括固定于机架的安装支架和翻转支架，所述翻转气缸铰接于所述安装支架，所述翻转支架包括两竖直设置的第一安装板和一连接于两所述第一安装板底部的连接板，两所述第一安装板的...
该专利属于徐平芳所有，仅供学习研究参考，未经过徐平芳授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。