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半导体拾取装置制造方法及图纸
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文档序号:20922773
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本发明的目的在于,提供能够将半导体芯片和载片带剥离而不在半导体芯片发生破裂及缺损等缺陷的技术。半导体拾取装置(500)具有:拾取台(100),其隔着在半导体芯片(1)的下表面粘贴的载片带(2)而载置半导体芯片(1);延展部(200),其对载...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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