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双面玻璃终端的半导体加工方法技术
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文档序号:20922708
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本发明涉及半导体加工技术领域,公开了一种双面玻璃终端的半导体加工方法,包括在芯片的终端形成玻璃层;对玻璃层进行刻蚀工艺处理,以在玻璃层上形成划刻槽:至少在芯片的玻璃层上覆盖不透光介质层;在不透光介质层上涂覆光刻胶层;对光刻胶层进行掩膜曝光;...
该专利属于吉林华微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林华微电子股份有限公司授权不得商用。
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