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本发明涉及一种环形薄件的吸附装置及其使用方法。该吸附装置由真空发生装置、气管以及吸附件组成。基于真空吸附原理实现环形薄件的无损吸附装配。该装置使用时封堵吸附件上的排气孔，实现负压通过吸附小孔对环形薄件的吸附，进行释放动作时，使排气孔敞开，吸...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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