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一种激光冲孔装置,包括光源模块、光路传输模块、激光调制模块、聚焦模块和控制模块。光源模块用于发射第一激光。光路传输模块、激光调制模块和聚焦模块沿光路依次设置。激光调制模块包括可移动进出光路的分束器和整形器,分束器用于将第一激光分成至少两束第...该专利属于西安中科微精光子制造科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安中科微精光子制造科技有限公司授权不得商用。
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