下载晶圆制造生产线的排货方法的技术资料

文档序号:20919114

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆制造生产线的排货方法,包括步骤:步骤一、收集FAB以往形成的WIP的数量、uptime、process time和机台数量和相应的跑货量并得到对应第一映射关系。步骤二、在第一映射关系的基础上,以uptime和proces...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。