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本发明公开了一种晶圆制造生产线的排货方法,包括步骤:步骤一、收集FAB以往形成的WIP的数量、uptime、process time和机台数量和相应的跑货量并得到对应第一映射关系。步骤二、在第一映射关系的基础上,以uptime和proces...该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种晶圆制造生产线的排货方法,包括步骤:步骤一、收集FAB以往形成的WIP的数量、uptime、process time和机台数量和相应的跑货量并得到对应第一映射关系。步骤二、在第一映射关系的基础上,以uptime和proces...