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一种二维热温差型风速传感器及其环境自补偿方法技术
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文档序号:20912392
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一种二维热温差型风速传感器及其环境自补偿方法,属于风速传感器领域,解决了现有氮化铝基的热温差型风速传感器的检测速率较低的问题。传感器:在低热导率的衬底上铺设有导热介质层,加热电极、四个温度探测电极和两个环境温度自补偿电极均设置在导热介质层上...
该专利属于哈尔滨理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨理工大学授权不得商用。
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