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本发明公开了一种采用闭循环制冷机的低振动降温装置，该装置包括：制冷机制冷系统、波纹管隔振系统和真空系统；制冷机制冷系统包括金属套筒、制冷机冷头、制冷机压缩机和氦气热交换系统，制冷机冷头下端设置导流装置，制冷机冷头和金属套筒之间设置防对流填充...
该专利属于中科艾科米（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科艾科米（北京）科技有限公司授权不得商用。

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