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本申请实施例提供一种单、双轴磁场传感器与其制备方法以及设备。其中,单轴传感器包括:位于衬底上的第一惠斯通电桥包括两第一和两第二磁阻模块组;两第一磁阻模块组分别位于第一惠斯通电桥的第一相对桥臂上,第一磁阻模块组中第一磁阻模块的参考层磁化方向均...该专利属于北京航空航天大学青岛研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学青岛研究院授权不得商用。
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本申请实施例提供一种单、双轴磁场传感器与其制备方法以及设备。其中,单轴传感器包括:位于衬底上的第一惠斯通电桥包括两第一和两第二磁阻模块组;两第一磁阻模块组分别位于第一惠斯通电桥的第一相对桥臂上,第一磁阻模块组中第一磁阻模块的参考层磁化方向均...