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一种双加热电极宽量程风速传感器及其制造方法技术
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文档序号:20902550
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一种双加热电极宽量程风速传感器及其制造方法,用于提高检测灵敏度和速率,属于风速传感器领域。本发明包括:加热器电极位于八边形衬底的中心,加热器电极由双加热器围成中心为方形盘绕式结构和四个引用电极组成,四个引用电极分别从方形盘绕式结构的四个角引...
该专利属于哈尔滨理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨理工大学授权不得商用。
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