下载一种氮气氧化物传感器芯片及其制造方法的技术资料

文档序号:20901903

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本发明涉及一种氮气氧化物传感器芯片及其制造方法。该氮气氧化物传感器芯片,包括依次叠压的上氧泵电池层、尾气控制层、下氧泵电池层、多孔氧参比层、上加热基板层和下加热基板层,上氧泵电池层一面印刷上氧泵电极层,上氧泵电池层另一面与下氧泵电池层之间设...
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