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本发明公开了一种渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置。包含具有拍频信号输出的双频激光器和直线度及位移同时测量单元，其中半透射半反射平面镜和渥拉斯顿棱镜组成测量镜，该测量镜移动时，产生含有不同多普勒频差的三路测量光束，经三个光电...
该专利属于浙江理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江理工大学授权不得商用。

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