下载一种多晶硅片清洗专用架的技术资料

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本实用新型公开了一种多晶硅片清洗专用架,包括清洗筒总体、固定半筒和活动半筒,所述清洗筒总体由固定半筒和活动半筒组成,所述固定半筒的底面固设有第二立柱和第一立柱,所述第二立柱与第一立柱之间通过滑轨固定连接,所述活动半筒的底部穿过滑轨与固定半筒...
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