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本实用新型实施例涉及一种零差激光测振装置,包括用于发射测量振动所需的激光的激光光源和光学干涉单元,所述光学干涉单元包括干涉结构和光束位移分光元件,所述干涉结构将激光投射到待测物体上、接收待测物体反射的光,并构造相干光,生成待测光束;所述光束...该专利属于中国科学院福建物质结构研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院福建物质结构研究所授权不得商用。
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本实用新型实施例涉及一种零差激光测振装置,包括用于发射测量振动所需的激光的激光光源和光学干涉单元,所述光学干涉单元包括干涉结构和光束位移分光元件,所述干涉结构将激光投射到待测物体上、接收待测物体反射的光,并构造相干光,生成待测光束;所述光束...