下载一种应用于单晶炉的副炉室的技术资料

文档序号:20888343

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本发明涉及单晶炉的辅助设备领域,特别涉及一种应用于单晶炉的副炉室。包括副炉室本体;副炉室本体为包括内筒与外筒的双层筒体结构;法兰连接结构包括副炉室下法兰、副炉室上法兰与副炉室侧法兰;排水组件包括设于外筒外壁且与副炉室本体轴线平行的导水条,导...
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