下载载板和镀膜设备的技术资料

文档序号:20887706

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本公开提供一种载板和镀膜设备,所述载板上设置有至少一个镂空槽,每个所述镂空槽内均设置有支撑构件以使得待加工部件能够放置在所述镂空槽内。应用本公开所述载板及镀膜设备在镀膜过程中无需翻转硅片,也就无需重复破真空,从而避免硅片在镀膜过程中受空气暴...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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