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一种粉体磁控溅射镀膜中的装置和方法，属于高真空磁控溅射镀膜领域。包括振动盘、电磁铁震动底座、粉料分流挡板、防粉流入导槽挡板、电磁屏蔽保护金属筒，料盘与振动底座之间的绝缘隔板。振动盘边缘带有螺旋轨道的凹槽，凸起的凹槽边沿起粉料的导向作用，粉料...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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