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本实用新型涉及一种用于晶圆处理设备的进气管和晶圆处理设备，所述进气管包括：管体，包括内壁和外壁；保护层，覆盖所述内壁和/或外壁，所述保护层的机械强度大于所述管体的机械强度。所述保护层能够提高所述进气管的机械强度，使得所述进气管在使用过程中不...
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