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照明光学系统、光刻装置以及物品制造方法制造方法及图纸
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文档序号:20881626
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提供一种使用来自光源的光对被照明面进行照明的照明光学系统。照明光学系统具有:光学积分器,配置在光源与被照明面之间;和光学滤波器,具有调整入射至光学积分器的光的强度的调整部。光学积分器是使入射的光在内表面反射的棒型光学积分器。照明光学系统通过...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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