下载三维固态成像光电探测器的技术资料

文档序号:20881420

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一种探测器阵列(112)包括探测器像素(206)。所述探测器像素包括三维腔(304和306;432和404),所述三维腔具有包括活性区域的壁(308/602和316;434和406/502),所述活性区域探测在所述三维腔内穿过的可见光子并且...
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