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复合振动平面内加速度计制造技术
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文档序号:20881345
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本文描述用于检测和测量惯性参数(例如加速度)的系统和方法。具体而言,所述系统和方法涉及实现时域感测技术的振动惯性传感器。在复合质量块传感器系统内,感测质量块可以以与其致动频率不同的频率振荡,从而在将传感器集成到驱动系统中时允许灵活性而不牺牲...
该专利属于卢米达因科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过卢米达因科技公司授权不得商用。
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