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本发明提供一种基板搬运机械手。所述基板搬运机械手包括：承载臂及设于承载臂上且位于承载臂的第一端边缘的滚动机构；滚动机构包括安装座、滚轮、摇杆及弹性件；安装座设于承载臂上，摇杆相对于水平面向靠近承载臂第二端的方向倾斜布置，且摇杆的靠近承载臂第...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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