下载薄膜晶体管结构及沟道电阻和接触电阻的测量方法的技术资料

文档序号:20872006

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本发明提供了一种薄膜晶体管结构及沟道电阻和接触电阻的测量方法。所述薄膜晶体管结构包括:衬底基板、设于所述衬底基板上的栅极、设于所述栅极上的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的有源层以及设于所述有源层上的依次间隔排列的源极、测量电极和漏极;所述...
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