下载激光腔镜辅助装调装置及其使用方法的技术资料

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一种激光腔镜辅助装调装置,构成包括三维升降平台、二维调整架、引导支撑架、镜架机械臂、基准光源、坐标观察屏、光场相机。所述的镜架机械臂借助刚性引导支撑架与所述的二维调整架连接,二维调整架固定在所述的三维升降平台上,镜架机械臂加持待装调激光腔镜...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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