下载一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置的技术资料

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一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置,包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪;所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上,所述4个卤素灯分为两组,沿中心位置两侧对称;蒸发源位...
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