下载用于蒸发器源的承载器装置的技术资料

文档序号:20858291

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本发明涉及一种自承式承载器装置,其用于蒸发器源(10),所述蒸发器源用于至少一个基底的表面处理,其中,所述承载器装置具有底部(82)和与所述底部(82)连接的侧壁结构(84),其中,所述底部(82)和所述侧壁结构(84)构成一个接收部(85...
该专利属于NICE太阳能有限责任公司;巴登符腾堡太阳能和氢能源研究中心(ZSW)所有,仅供学习研究参考,未经过NICE太阳能有限责任公司;巴登符腾堡太阳能和氢能源研究中心(ZSW)授权不得商用。

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