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本实用新型涉及一种精密移动平台，包括：底座；第一导向装置，包括设于所述底座上的第一直线电机和与所述第一直线电机对应的第一气浮导轨，所述第一气浮导轨由所述第一直线电机驱动；第二导向装置，包括固定连接于所述第一气浮导轨的第二直线电机和与所述第二...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

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