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本发明提供一种高纯氮化硅的回收方法，包括原料制备：将氮化硅涂层从废弃的石英坩埚上利用打磨设备打磨石英坩埚内表面，将其与石英坩埚分离得到氮化硅原料；粉碎过滤：粉碎利用研磨设备对采集得到的原材料进行粉碎，并利用40目以下的过滤网进行过滤得到氮化...
该专利属于天津市瓦克新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市瓦克新能源科技有限公司授权不得商用。

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