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一种新型纤锌矿GaAs核壳纳米线光电探测器的制备方法技术
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下载一种新型纤锌矿GaAs核壳纳米线光电探测器的制备方法的技术资料
文档序号:20848344
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本发明涉及一种新型纤锌矿GaAs核壳纳米线光电探测器的制备方法,将GaAs(111)B单晶衬底先后浸泡在多聚赖氨酸溶液和金溶胶中,然后清洗并干燥,放入到金属有机气相沉积系统中,通入高纯氢气作为载气,然后通入砷化氢,将衬底加热一段时间,然后降...
该专利属于中南大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学授权不得商用。
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