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氮化镓纳米线感光单元、制作方法、紫外线探测器技术
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下载氮化镓纳米线感光单元、制作方法、紫外线探测器的技术资料
文档序号:20848317
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一种氮化镓纳米线感光单元的制作方法,包括如下步骤:提供一基板,在所述基板一侧形成一层氮掺杂的氧化镓材料层;以所述氮掺杂的氧化镓材料层为基层制作一氮化镓层,所述氮化镓层包括多条氮化镓纳米线;以及,在所述氮化镓层远离所述基板一侧形成至少两个间隔...
该专利属于深圳清华大学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳清华大学研究院授权不得商用。
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