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微波谐振腔耦合自组织锗硅纳米线量子点装置制造方法及图纸
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文档序号:20848256
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本发明公开了一种微波谐振腔耦合自组织锗硅纳米线量子点装置,该装置包括:基片结构;至少两个自组织锗硅纳米线量子点电极结构,制备在上述基片结构上;以及超导微波谐振腔结构,设置在上述基片结构上,并与上述自组织锗硅纳米线量子点源电极结构耦合。本发明...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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