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薄膜晶体管结构及其制作方法、显示装置制造方法及图纸
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文档序号:20848233
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本申请涉及一种薄膜晶体管结构及其制作方法、显示装置,该薄膜晶体管结构的制作方法包括:提供一基板,并在基板上形成栅极;在基板上形成覆盖栅极的栅极绝缘层;在栅极绝缘层上依次沉积有源层、掺杂层,并进行光刻处理;在掺杂层上沉积第二金属层,并进行光刻...
该专利属于惠科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠科股份有限公司授权不得商用。
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